便攜式激光平面干涉儀
便攜式激光平面干涉儀 型號：XQ60-G1
用途:
本司自行設計、制作的XQ60-G1型便攜式激光平面干涉儀近期己完成樣機的總裝與調試。該儀器的投放市場最大限度地減輕了操作人員的工作強度;更適用于大批量生產的檢驗;配以計算機可直接將被檢測鏡面的原始資料通過計算機保存和傳輸,以達到資料存檔及遠程監控、驗收評定質量的目的,是國產激光平面干涉儀產業新的發展。
技術參數:
第一標準平面(A面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標準平面(B面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準直系統 ——————————————— 工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm